一种封装基板的激光加工方法及激光加工系统
实质审查的生效
摘要

本发明属于激光加工技术领域,涉及一种封装基板的激光加工方法及激光加工系统,封装基板包括层叠设置的绝缘层和覆铜层;激光加工方法包括如下步骤:根据第一加工轨迹,沿绝缘层至覆铜层的方向上,采用第一激光束对绝缘层加工出第一凹槽;根据第二加工轨迹,于第一凹槽的槽底,采用激光束组对绝缘层依次进行至少两次分层加工以加工出第二凹槽,并露出覆铜层;其中,第一激光束的激光加工参数为第一激光加工参数;激光束组中各激光束的激光加工参数与第一激光加工参数不同;第一凹槽的横截面积大于第二凹槽的横截面积。该封装基板的激光加工方法及激光加工系统提供的技术方案能够减小残留于覆铜层的加工残屑,有效避免加工过程对覆铜层造成损伤。

基本信息
专利标题 :
一种封装基板的激光加工方法及激光加工系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114425653A
申请号 :
CN202011182360.X
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2020-10-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
房用桥谢圣君王昌焱徐新峰罗华侨夏炀恒范祥鑫曾晶龙伟张董洁李士杰邓军凯吕启涛高云峰
申请人 :
大族激光科技产业集团股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区深南大道9988号
代理机构 :
深圳市世联合知识产权代理有限公司
代理人 :
汪琳琳
优先权 :
CN202011182360.X
主分类号 :
B23K26/36
IPC分类号 :
B23K26/36  B23K26/352  B23K26/70  B23K37/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/36
申请日 : 20201029
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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