一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法和系统
授权
摘要
本发明公开了一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法，包括如下步骤：S1.首先将硅片输送进入工艺腔内；S2.硅片进入工艺腔后，先将工艺腔抽真空；S3.然后向抽真空后的工艺腔内通入硅烷和红磷蒸汽作为工艺气体，并开启快速加热将工艺气体和硅片同时快速加热至反应温度后，开启电源激发等离子体放电，硅烷和红磷蒸汽在高温低压真空中反应并在硅片表面生成含磷的硅薄膜，完成原位掺杂。本发明采用一步式原位掺杂的方式取代传统的沉积和掺杂两步式制备掺杂层的方法，并采用安全性更高的红磷蒸汽替代磷烷作为磷掺杂剂，从根本上解决高效太阳能电池产能低、成本高的难题，并显著提高了生产安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种TOPCon太阳能电池原位掺杂钝化层的制备方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112271237A
申请号 ：
CN202011229899.6
公开（公告）日 ：
2021-01-26
申请日 ：
2020-11-06
授权号 ：
CN112271237B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
闫路上官泉元
申请人 ：
江苏杰太光电技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区姜堰经济开发区陈庄路600号
代理机构 ：
北京集智东方知识产权代理有限公司
代理人 ：
吴倩
优先权 ：
CN202011229899.6
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0216
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2021-02-12 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20201106
申请日 : 20201106
2021-01-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
