具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：所述压电层为掺杂压电层；且所述顶电极和/或底电极为含有金属钨的钨电极。所述顶电极和/或底电极为由金属钨制成的单层电极或者由钨合金制成的单层电极。或者所述顶电极和/或底电极为叠层电极，所述叠层电极包括叠置的不同材质的至少两层电极层，所述至少两层电极层至少包括一层钨电极层，所述钨电极层为由金属钨制成的电极层或者由钨合金制成的电极层。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。
基本信息
专利标题 ：
具有钨电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114553178A
申请号 ：
CN202011332928.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-11-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
庞慰张孟伦宁远
申请人 ：
诺思（天津）微系统有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区开发区西区新业五街27号
代理机构 ：
北京金诚同达律师事务所
代理人 ：
汤雄军
优先权 ：
CN202011332928.1
主分类号 ：
H03H9/17
IPC分类号 ：
H03H9/17 H03H9/02
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/17
申请日 : 20201124
申请日 : 20201124
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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