体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；压电层；和顶电极，其中：所述谐振器的谐振频率低于2.5GHz，且具有层厚比E/P；所述谐振器具有机电耦合系数Kt2，所述掺杂浓度不小于a1，a1为层厚比E/P＝1.5时所述机电耦合系数Kt2对应的掺杂浓度。本发明还涉及一种掺杂浓度确定方法，所述掺杂浓度为体声波谐振器的压电层的掺杂元素的掺杂浓度，所述谐振器具有机电耦合系数Kt2，所述谐振器的谐振频率低于2.5GHz且具有层厚比E/P，所述方法包括步骤：基于层厚比E/P，选择所述掺杂浓度不小于a1，a1为谐振器层厚比E/P＝1.5时所述机电耦合系数Kt2对应的掺杂浓度。本发明也涉及一种滤波器和一种电子设备。
基本信息
专利标题 ：
体声波谐振器、掺杂浓度确定方法、滤波器及电子设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114337573A
申请号 ：
CN202011069419.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
庞慰徐洋杨清瑞张孟伦
申请人 ：
诺思（天津）微系统有限责任公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区开发区西区新业五街27号
代理机构 ：
北京金诚同达律师事务所
代理人 ：
汤雄军
优先权 ：
CN202011069419.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/17 H03H9/54
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20200930
申请日 : 20200930
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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