本发明公开了一种用于废硅片热处理的装置及工艺；热处理装置包括装置主体、加热器、盖体和不锈钢冷凝管；装置主体为半封闭的空心圆柱体，空心圆柱体顶端和两侧布满不锈钢冷凝管，不锈钢冷凝管表面覆盖隔热片；空心圆柱体正下方为加热器；空心圆柱体前方设有盖体，盖体两侧设有不锈钢冷凝管，盖体前方设有不锈钢抽气管；使用该装置的热处理工艺是以废硅片为原料，与还原合金片叠片、放入装置、热处理；再混入低沸点金属盐，加热、退火，循环反复，获得硅基制氢材料；该热处理装置结构简单、使用方便，使用该装置制备的硅基制氢材料化学活性高；因此，用于废硅片热处理的装置及工艺在制氢领域具有很好的应用前景。