本申请公开一种用于异常硅片的药液添加装置及其工艺，其安装于臭氧制绒机上且用于给粗抛槽主体自动加液以转换为双氧水清洗槽，所述药液添加装置包括：药液柜，且内部放置有存储双氧水药液的药液容器和用于控制药液容器往粗抛槽主体内输送双氧水药液的控制模组；药液输送管路，其设置于粗抛槽主体和药液容器之间，药液输送管路在控制模组的控制下自动将双氧水药液输送至粗抛槽主体内。本申请通过自动注入双氧水药液的管路设计，替代人工操作，规避了对产能的影响同时减少了由于人工操作带来的误差，并且对臭氧制绒机的工艺参数进行改进，降低了药液使用成本的同时，确保了硅片的品质，提升一次合格率。