一种新型波前测量装置及方法、设备及介质

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摘要

本发明公开了一种新型波前测量装置及方法、设备及介质，所述装置包括设置有成像靶面的图像传感器、光源，所述成像靶面的前方沿远离成像靶面的方向依次同轴地安装设置有掩膜板、第二透镜、光阑、第一透镜，所述掩膜板上按预设的分布密度均匀设置有复数个微型通光孔，微型通光孔的直径d>10λ，且直径d与掩膜板距成像靶面的距离满足关系：同时L＞＞25λ，λ为光线波长；所述第二透镜、第一透镜的焦点重叠，所述光阑设置在焦点重叠处；所述光源为准直光源或非准直光源。本发明通过设计双远心光路、带有设定密度的微型通光孔的掩膜板，并结合互相关计算方法，突破了传统波前测试对于准直光线的依赖，测量精度高、造价低廉。

基本信息

专利标题：

一种新型波前测量装置及方法、设备及介质

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112504479A

申请号：

CN202011399432.6

公开（公告）日：

2021-03-16

申请日：

2020-12-02

授权号：

CN112504479B

授权日：

2022-05-03

发明人：

丁浩林易仕和

申请人：

中国人民解放军国防科技大学

申请人地址：

湖南省长沙市开福区德雅路109号

代理机构：

长沙智嵘专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄海波

优先权：

CN202011399432.6

主分类号：

G01J9/00

IPC分类号：

G01J9/00