一种用于双光束及多光束三维重合对准的方法
公开
摘要
一种用于双光束以及多光束三维重合对准的方法，包括步骤：①利用应用于双光束光刻的光束对准系统，使第一束光与荧光聚合材料在焦点处行成荧光聚合点，定位第一束光的三维位置信息；②通过第二束光或者多束光激发所述的荧光聚合点；③调节第二束光或者多束光所对应的二向色镜的位置，至探测单元探测到的最强荧光信号处。本发明通过荧光聚合材料与所述第一束光发生聚合反应，定位第一束光的三维位置信息，并用激发的荧光强度变化来对准双光束以及多光束三维重合，使精度更高，且对准操作更为简洁。
基本信息
专利标题 ：
一种用于双光束及多光束三维重合对准的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623762A
申请号 ：
CN202011456448.6
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2020-12-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵苗原续鹏阮昊郭新军
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
张宁展
优先权 ：
CN202011456448.6
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00 G02B27/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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