基于闭环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统

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摘要

本发明公开了一种基于闭环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统，其中方法包括以下步骤：S10，建立水晶研磨伺服系统数学模型；S20，建立离散型闭环交叉耦合迭代学习控制器对位置进行控制；S30，离散型闭环迭代学习控制器产生新的控制信号；S40，控制器根据期望位置信息和实际信息得到新的跟踪误差；S50，经过轮廓误差分配模型补偿到各轴以消除每个轴对其它轴的影响。

基本信息

专利标题：

基于闭环交叉耦合迭代学习的水晶研磨控制方法与系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112596389A

申请号：

CN202011504841.8

公开（公告）日：

2021-04-02

申请日：

2020-12-18

授权号：

CN112596389B

授权日：

2022-05-17

发明人：

李训根吕帅帅潘勉李文钧游彬徐小良

申请人：

杭州电子科技大学

申请人地址：

浙江省杭州市下沙高教园区二号路

代理机构：

浙江永鼎律师事务所

代理人：

陆永强

优先权：

CN202011504841.8

主分类号：

G05B13/04

IPC分类号：

G05B13/04