一种便于调节的半导体测试装置
授权
摘要
本实用新型公开一种便于调节的半导体测试装置,其包括机体,所述机体上方左右两侧对称设有起偏器和检偏器,所述机体下方设有支撑柱,所述机体上端面设有固定底座;调节组件,所述调节组件包括气缸、支撑板和多根连接杆,所述气缸底部嵌入固定底座内,所述气缸上端与支撑板连接,多根所述连接杆对称设于支撑板上端面;样品测试台,所述样品测试台设于多根连接杆上端,且设于所述起偏器和检偏器之间。本实用新型可以对样品测试台进行高度调节,还可以根据待测试半导体所需要测试的位置或角度,对样品测试台进行各个角度的调节,相比对起偏器与检偏器的位置进行调节,本实用新型的操作更为方便,且调节精确度高,测试效率和测试结果均得到保证。
基本信息
专利标题 :
一种便于调节的半导体测试装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020023659.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-07
授权号 :
CN212031273U
授权日 :
2020-11-27
发明人 :
柯武生王桂桂黄崇城张进国
申请人 :
深圳市芯汇群微电子技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市福田区福田街道福山社区滨河大道5022号联合广场A座4003-4005
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020023659.X
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01 G01N21/21 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-11-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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