晶圆表面颗粒清洗喷嘴

授权

摘要

本实用新型提供了一种晶圆表面颗粒清洗喷嘴，包括液体输送管和雾化装置，所述液体输送管与所述雾化装置连接，所述雾化装置用于将所述液体输送管输送的清洗液雾化成液滴，以将液滴直接作用于晶圆表面。所述雾化装置将所述液体输送管输送的清洗液雾化成液滴，以将液滴直接作用于晶圆表面，避免了液滴输送设备的使用，减少了设备的复杂度，同时减少了液体在传递过程中出现相互结合的情况，可以保证液滴的尺寸，并且通过调节所述液体输送管内的液压即可调节液滴速度，液滴速度调节准确而便捷。

基本信息

专利标题：

晶圆表面颗粒清洗喷嘴

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020101283.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-17

授权号：

CN212120439U

授权日：

2020-12-11

发明人：

陈兴隆彭博

申请人：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄海霞

优先权：

CN202020101283.X

主分类号：

B05B7/04

IPC分类号：

B05B7/04 B05B7/08