一种电极片、载片器以及镀膜系统
授权
摘要
本实用新型公开一种电极片、载片器以及镀膜系统，涉及太阳能电池技术领域，以缓解表面成膜过程中绕镀所产生的硅片边缘颜色异常问题，从而提高硅片镀膜良率。所述电极片包括：至少一个载片单元。每个载片单元的至少一个表面具有载片区域和外围区域，外围区域位于载片区域的周向。每个载片单元的至少一个表面开设有用于抑制绕镀现象的至少一个槽体。至少一个槽体位于外围区域。所述载片器包括上述技术方案所提的电极片。本实用新型提供的电极片用于镀膜系统中。
基本信息
专利标题 ：
一种电极片、载片器以及镀膜系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020130174.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-20
授权号 ：
CN211848132U
授权日 ：
2020-11-03
发明人 ：
赵赞良
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区文萃南街战略新兴材料加工区8号206室
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
周娟
优先权 ：
CN202020130174.0
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 C23C16/509 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-11-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
