一种压阻式触觉传感
授权
摘要
本实用新型公开了一种压阻式触觉传感器，包括底衬，底衬中部设有空腔，底衬上端端面上固定有感应膜，感应膜为含有惠斯通电桥的硅基薄膜，感应膜中部通过光刻和溅射工艺生成触点的金属层，在金属层上通过电镀工艺长出设定高度的触点，触点的垂直投影落在底衬空腔的范围内。当触点未接触到物体时，感应膜未产生形变，惠斯通电桥处于平衡状态称为零位，当触点接触物体时，感应膜受压同时电阻发生变化，惠斯通电桥将失去平衡。若给惠斯通电桥加一个恒定电流或电压电源，惠斯通电桥将输出与压力对应的电压信号，这样感应膜的电阻变化通过惠斯通电桥转换成压力信号输出，即压力信号输出跟随触点受到的压力变化而变化。
基本信息
专利标题 ：
一种压阻式触觉传感
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020135622.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-21
授权号 ：
CN211262548U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
王跃林李正王东平
申请人 ：
苏州感芯微系统技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区07幢401室
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
范晴
优先权 ：
CN202020135622.6
主分类号 ：
G01L1/22
IPC分类号 ：
G01L1/22 G01L1/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
G01L1/22
利用电阻应变仪
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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