一种三自由度微纳定位平台

授权

摘要

本实用新型涉及的三自由度微纳定位平台，第一运动平台的运动组件由第一运动平台的压电陶瓷驱动其沿X轴方向移动，第二运动平台设置在第一运动平台的运动组件上且随第一运动平台的运动组件沿X轴方向移动，第二运动平台的运动组件由第二运动平台的压电陶瓷驱动其沿Y方向移动，第三运动平台设置在第二运动平台的运动组件上且随第二运动组件沿Y轴方向移动，第三运动平台的运动组件由第三运动平台的压电陶瓷驱动沿Z轴方向移动。运动平台结构简单、制作工艺简单、制造成本较低且可实现厘米级行程和微米级定位精度，得到的三自由度微纳定位平台整体结构尺寸紧凑、便于加工和装配、并且平台运动精度高、定位精度高、行程范围大、运动稳定性好。

基本信息

专利标题：

一种三自由度微纳定位平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020168963.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-14

授权号：

CN211087931U

授权日：

2020-07-24

发明人：

钟博文黄开明

申请人：

苏州大学

申请人地址：

江苏省苏州市相城区济学路8号

代理机构：

苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

唐静芳

优先权：

CN202020168963.3

主分类号：

G12B5/00

IPC分类号：

G12B5/00