一种二维压电对称驱动微纳定位平台
公开
摘要
本发明提供了一种二维压电对称驱动微纳定位平台，包括：X方向驱动单元、Y方向驱动单元和连接组件；所述X方向驱动单元和所述Y方向驱动单元通过所述连接组件在竖直方向连接；所述X方向驱动单元包括：工作平台和两个第一桥式位移放大机构，两个所述第一桥式位移放大机构对称串联设置在所述工作平台的两端；所述Y方向驱动单元包括：连接梁和两个第二桥式位移放大机构，两个所述第二桥式位移放大机构对称串联设置在所述连接梁的两端；所述工作平台和所述连接梁平行正交。本发明克服了传统压电作动器输出位移曲线不对称的现象，解决了传统的作动器只能依赖结构的弹性完成回程位移的缺点，提高了执行器的定位精度。
基本信息
专利标题 ：
一种二维压电对称驱动微纳定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114567204A
申请号 ：
CN202210200095.6
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
黄卫清廉钧凯安大伟
申请人 ：
广州大学
申请人地址 ：
广东省广州市番禺区大学城外环西路230号
代理机构 ：
北京八月瓜知识产权代理有限公司
代理人 ：
秦莹
优先权 ：
CN202210200095.6
主分类号 ：
H02N2/02
IPC分类号 ：
H02N2/02 H02N2/04
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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