一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座
授权
摘要
一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座，包括加热基座主体、云母加热片、陶瓷隔热板以及耐高温隔热转接密封接头，所述的加热基座主体内设置有云母加热片以及陶瓷隔热板，所述的耐高温隔热转接密封接头设置在加热基座主体上。本发明全封闭式云母加热基座通过控制两片云母片内部的刻蚀成型的多区控温的加热丝产生热量的分布，并通过热量的传导使加热基座工作面均匀发热，从面实现对表面放置晶圆和聚酰亚胺静电卡盘加热的功能。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020270294.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-07
授权号 ：
CN211879329U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
游利贾坤良
申请人 ：
靖江先锋半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号
代理机构 ：
靖江市靖泰专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
陆平
优先权 ：
CN202020270294.0
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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