一种两轴智能机械手
授权
摘要
本实用新型公开了一种两轴智能机械手，包括一旋转基座以及一横向伸缩机械臂，旋转基座底部转动连接有基于伺服控制的伺服旋转机构，横向伸缩机械臂位于旋转基座上端右侧，横向伸缩机械臂包括支撑臂和伸缩臂，所述伸缩臂包括至少三节伸缩杆结构，且每一节伸缩杆结构的上部设有可用于吸附晶元的真空吸附孔结构；支撑臂前端设有底部向前延伸的第一前托式结构，每一节伸缩杆结构的前端设有底部向前延伸的第二前托式结构，该两轴智能机械手通过组合式支撑结构，可使两轴机械手的横向传递机构更稳定，避免晶圆传递时的抖动。
基本信息
专利标题 ：
一种两轴智能机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020342995.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-18
授权号 ：
CN211967575U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
李素兰马乘达常文海
申请人 ：
山东奇润机械设备有限公司
申请人地址 ：
山东省临沂市罗庄区南外环与新206国道交汇处
代理机构 ：
北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
宫建华
优先权 ：
CN202020342995.0
主分类号 ：
B25J18/02
IPC分类号 ：
B25J18/02 B25J15/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J18/00
爪臂
B25J18/02
可伸长的
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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