一种多晶铸锭坩埚喷涂台

授权

摘要

本实用新型公开了一种多晶铸锭坩埚喷涂台，涉及多晶硅技术领域。其喷涂台包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。本实用新型提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果，提高喷涂效率，降低工作量。

基本信息

专利标题：

一种多晶铸锭坩埚喷涂台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020417456.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-27

授权号：

CN211887616U

授权日：

2020-11-10

发明人：

王怡然罗建明关成

申请人：

包头晶澳太阳能科技有限公司

申请人地址：

内蒙古自治区包头市青山区装备园区新规划区装备大道21号

代理机构：

北京市万慧达律师事务所

代理人：

顾友

优先权：

CN202020417456.9

主分类号：

B05B16/20

IPC分类号：

B05B16/20 B05B12/08 B05B12/02 C30B28/06 C30B29/06