一种具有二次包胶结构的花篮齿杆芯棒
授权
摘要
本实用新型涉及对硅片花篮的结构改进，具体为一种具有二次包胶结构的花篮齿杆芯棒，可完全解决PVDF花篮齿杆芯棒污染槽体的情况发生，从而降低花篮污染槽体的情况发生，解决目前存在隐患，包括不锈钢棒芯(1)和PVDF齿杆(2)，所述PVDF齿杆(2)包覆在不锈钢棒芯(1)上，其特征在于：还包括包胶层(3)，所述不锈钢棒芯(1)通过包胶层(3)与PVDF齿杆(2)连接。
基本信息
专利标题 ：
一种具有二次包胶结构的花篮齿杆芯棒
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020423383.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-29
授权号 ：
CN211428132U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
宋文
申请人 ：
无锡旭邦精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区梅村张公路29号
代理机构 ：
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
戴丽伟
优先权 ：
CN202020423383.4
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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