本实用新型公开了一种高纯硅烷灌装设备，包括基座、集气箱、底座、壳体、罐体、固定机构、连接机构和除杂机构，所述集气箱可固定安装在基座的顶端左侧，所述底座可固定安装在基座的顶端中心位置，所述壳体可固定安装在基座的顶端右侧，所述罐体可放置在底座的顶端，所述固定机构装配在底座的一侧，所述连接机构装配在壳体与罐体的一侧，所述除杂机构装配在集气箱与罐体的一侧。该高纯硅烷灌装设备，不仅具有报警功能，可在气体发生泄漏时第一时间告知工作人员，大大提高了整体灌装的安全性，而且还可以将罐体内腔残留的气体排出，避免残留气体与灌入的硅烷相融合，影响罐体内腔硅烷的纯净度，实用性强，满足现有市场上的使用需求。