本实用新型公开了一种高纯氯硅烷的多功能分配盘，包括四条物料管路，产品过料管路设有产品进料阀和产品出料阀；原料过料管路设有原料进料阀和原料出料阀；分析与检测过料管路设有第一分析与检测阀和第二分析与检测阀；氮气吹扫过料管路设有第一氮气吹扫阀和第二氮气吹扫阀；四条物料管路在中间段合并为两条物料管路，两条物料管路中间设有连通管路，连通管路上设有可视流量筒，连通管路与两条物料管路的连接处两侧各设一个隔断阀。本实用新型分配盘隔绝在生产、分析检测、灌装等环节中氯硅烷与空气的接触，形成一个集中控制的气体、液体分配控制系统，方便将高纯氯硅烷在全密封的管道中，实现管道吹净、分析检测、吹扫残留液体等操作。