一种基于倒装结构的石墨烯高度计
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摘要
一种基于倒装结构的石墨烯高度计，包括：封装外壳以及设置在封装外壳顶端的封装端盖；封装端盖为中间带有通孔结构的板状结构，封装端盖和封装外壳共同界定一个容纳空间；基板，基板设置在封装外壳内侧的底部；密封环，密封环水平设置在基板上表面；检测单元，检测单元设置在密封环上，基板、密封环、检测单元共同构成了一个无氧腔；互连组件，互连组件一端与检测单元连接，互连组件另一端与外部连接导出检测单元中的电学响应。本实用新型的有益效果在于，背部刻蚀成硅杯结构形成倒装结构与外界接触，避免了石墨烯与外界直接接触，器件可稳定工作于各种复杂环境，重复性好，可靠性高，灵敏度、精确度显著提升。
基本信息
专利标题 ：
一种基于倒装结构的石墨烯高度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020600740.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-21
授权号 ：
CN211904112U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
王俊强李孟委谢长征
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN202020600740.X
主分类号 ：
G01C5/06
IPC分类号 ：
G01C5/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C5/00
高程测量；横向视距测量；分开点间的水准测量；水准仪
G01C5/06
通过使用气压计量装置
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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