一种基于倒装结构的石墨烯高度计
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摘要
一种基于倒装结构的石墨烯高度计,包括:封装外壳以及设置在封装外壳顶端的封装端盖;封装端盖为中间带有通孔结构的板状结构,封装端盖和封装外壳共同界定一个容纳空间;基板,基板设置在封装外壳内侧的底部;密封环,密封环水平设置在基板上表面;检测单元,检测单元设置在密封环上,基板、密封环、检测单元共同构成了一个无氧腔;互连组件,互连组件一端与检测单元连接,互连组件另一端与外部连接导出检测单元中的电学响应。本实用新型的有益效果在于,背部刻蚀成硅杯结构形成倒装结构与外界接触,避免了石墨烯与外界直接接触,器件可稳定工作于各种复杂环境,重复性好,可靠性高,灵敏度、精确度显著提升。
基本信息
专利标题 :
一种基于倒装结构的石墨烯高度计
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020600740.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-21
授权号 :
CN211904112U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
王俊强李孟委谢长征
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市学院路3号
代理机构 :
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘莹莹
优先权 :
CN202020600740.X
主分类号 :
G01C5/06
IPC分类号 :
G01C5/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C5/00
高程测量;横向视距测量;分开点间的水准测量;水准仪
G01C5/06
通过使用气压计量装置
法律状态
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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