一种低应力的多层薄膜滤光片
授权
摘要
本实用新型公开一种低应力的多层薄膜滤光片，包括基底及设置在基底上的多层薄膜滤光片。基底为3.3硼硅玻璃，多层薄膜滤光片为双半波窄带干涉滤光片，其中心波长为1060nm，总物理膜厚为4800nm。3.3硼硅玻璃的线膨胀系数为3.3×10‑6/度；高、低折射率膜分别为TiO2和SiO2，其线膨胀系数分别为2～2.5×10‑6/度和0.7×10‑6/度。为减小滤光片的结累应力，采用基底加热和离子辅助两种技术。这种低应力的薄膜滤光片可广泛应用于各种光电仪器。
基本信息
专利标题 ：
一种低应力的多层薄膜滤光片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020617231.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-22
授权号 ：
CN211786204U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
吴江波刘璐艾曼灵金波郑臻荣顾培夫
申请人 ：
杭州科汀光学技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭经济开发区天荷路21号
代理机构 ：
杭州求是专利事务所有限公司
代理人 ：
陈升华
优先权 ：
CN202020617231.8
主分类号 ：
G02B5/28
IPC分类号 ：
G02B5/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/20
滤光片
G02B5/28
干涉滤光片
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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