一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶
授权
摘要
本实用新型公开的属于尾气处理技术领域,具体为一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶,包括支架和过滤外筒,所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管,所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管,所述下输气管、侧输气管均为双层结构,所述下输气管的内层与侧输气管的内层连通,所述下输气管的外层与侧输气管的外层连通,所述侧输气管的侧壁上端连接有进气口,所述侧输气管的顶端连接有出气口,通过双层侧输气管、下输气管、缓流座的双层设计,能够减少空间的占用,整体性较好;通过内隔离筒与过滤外筒之间的配合作用,能够将进气和出气分离开;通过内置的反应过滤芯对尾气中需要处理的气体进行反应并过滤杂质,能够很好的对尾气处理。
基本信息
专利标题 :
一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020627467.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-23
授权号 :
CN212369786U
授权日 :
2021-01-19
发明人 :
崔汉博
申请人 :
绍兴市高笙半导体科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市越城区皋埠镇银洲路16号1号车间106室
代理机构 :
上海领洋专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
俞晨波
优先权 :
CN202020627467.X
主分类号 :
B01D46/24
IPC分类号 :
B01D46/24 B01D46/00 B01D53/82 B01D53/68 B01D53/50
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/24
采用刚性空心滤体的粒子分离器,如聚尘器
法律状态
2021-01-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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