一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备，包括箱体，所述箱体内第一冷桶和第二冷桶，所述第一冷桶的上方设有集气桶，所述集气桶和第一冷桶之间通过总进气管连通，所述集气桶的上方可拆卸连接有若干个集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述第一冷桶和第二冷桶的下部设有导气口，两个所述导气口相对设置，两个所述导气口之间通过连通管连接，所述第二冷桶的上方设有风机，所述风机和第二冷桶之间通过风机进气管连接，所述风机通过设于其上方的电机进行驱动。本实用新型对尾气进行两次过滤，使得过滤效果更好。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体尾气双冷桶处理吸附设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021515685.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN213160098U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
崔汉博崔汉宽
申请人 ：
绍兴市高笙半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠镇银洲路16号1号车间106室
代理机构 ：
绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
桑杨
优先权 ：
CN202021515685.0
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04 B01D46/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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