一种半导体尾气热处理吸附设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体尾气热处理吸附设备，包括箱体，所述箱体内设有热桶，所述热桶的底部设有下输气管，所述下输气管通过侧输气管与风机进气管和热桶进气管相连接，所述热桶进气管通过三通管连接有总进气管和备用桶进气管，所述总进气管的上部连接有集气桶，所述集气桶的上部设有若干根集气管，所述集气管的上部穿过箱体后与箱体通过法兰盘固定，所述备用桶进气管远离热桶进气管的一端连接有备用热桶，所述备用热桶的上部设有备用热桶出气管，所述备用热桶出气管和风机进气管通过三通管与风机的进气端相连通，所述风机的一侧设有用于驱动风机的电机。本实用新型结构紧凑，整体性好，吸附效果好。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体尾气热处理吸附设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021517166.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-28
授权号 ：
CN213160099U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
崔汉博崔汉宽
申请人 ：
绍兴市高笙半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠镇银洲路16号1号车间106室
代理机构 ：
绍兴普华联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
桑杨
优先权 ：
CN202021517166.8
主分类号 ：
B01D53/04
IPC分类号 ：
B01D53/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用，例如，制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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