一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备

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摘要

本实用新型公开了一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备，硅片导入腔和/或沉积腔和/或缓冲腔安装有真空泵、加热器和冷凝泵，利用真空泵、加热器和冷凝泵，真空泵和冷凝泵配合使用，设备能够快速排除腔室内的水气，降低腔室中的水气分压，并将水气分压保持在1x10^‑³Pa以下；所述沉积腔和/或缓冲腔还安装有水气供给装置，能够向相应腔室内供应水气，从而将水气分压稳定在1x10^‑5Pa以上，避免TCO薄膜产生脱落。针对硅异质结太阳电池制作过程中水气含量高、受工况和环境影响波动范围大，影响太阳电池性能的问题，有效控制薄膜制作环境中水气含量，提高TCO薄膜性能和稳定性，从而提高太阳电池性能和制程的稳定性。

基本信息

专利标题：

一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020646558.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-24

授权号：

CN211929515U

授权日：

2020-11-13

发明人：

刘正新谢毅石建华孟凡英周华

申请人：

中威新能源（成都）有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流西南航空港经济开发区内

代理机构：

成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

汪林

优先权：

CN202020646558.8

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L31/20 C23C14/08 C23C14/35 C23C14/54 C23C14/56

法律状态

2020-11-13 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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