一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本申请适用于太阳能电池领域，提供了一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法。异质结电池的TCO薄膜的制作方法，溅射系统中的靶材为(In1‑xGax)2‑yZryO3靶材，x的范围为[0.00，0.28]，y的范围为[0.01，0.18]。如此，通过调节靶材中Ga的含量来提高TCO薄膜的禁带宽度，使得TCO薄膜的紫外波段的光透过率提高。同时，通过调节靶材中Zr的含量来提高TCO薄膜的载流子迁移率，使得近红外波段的光透过率提高并保持TCO薄膜的良好导电特性。这样，可以降低光学寄生吸收，从而提高异质结电池的光利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种异质结电池的TCO薄膜及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481028A
申请号 ：
CN202210055453.9
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张生利陈刚
申请人 ：
浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
代理机构 ：
深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾振勇
优先权 ：
CN202210055453.9
主分类号 ：
C23C14/08
IPC分类号 ：
C23C14/08 H01L31/18 H01L31/02 H01L31/0216
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/08
氧化物
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/08
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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