本实用新型公开了一种用于非晶硅薄膜太阳电池制作的PECVD装置，其特征是真空室是由结构件和保温件组成的外壳体、电加热板、散热板及轨道车组成的密闭长立方体，盒式反应器是由盖板、可加工陶瓷绝缘块、微孔式电极板组成的气腔与阻尼喷嘴及电极板组成的反应腔构成，盒式反应器内设有玻璃基片，轨道车上设有若干盒式反应器，在辉光放电及一定温度的条件下，反应气体经过分解反应均匀得在玻璃基片上淀积非晶硅薄膜，所产生废气经过阻尼排气嘴均匀的进入真空室，通过增压泵、机械泵组把废气引入气体反应塔进行尾气处理，本实用新生产的非晶硅薄膜太阳电池，膜层均匀，微观性能一致，操作简单，具有良好的重复性。