本实用新型涉及激光加工领域，具体为一种槽孔内壁表面材料去除的激光加工装置，包括激光器、扩束镜、光匀化部件和聚焦镜，还包括光束传输偏转装置，所述激光器产生的激光束经过光束传输偏转装置后以一定角度聚焦于待加工元件的微槽孔内壁表面，且为锐角。本技术方案采用偏转角度的激光束进行槽孔内壁表面的加工，能够对大深径比的槽孔进行加工；通过控制扩束后的光斑直径D、光束偏转角以及聚焦镜的焦距f，可以满足不同深径比的加工需求；对激光束的能量分布进行整形，使聚焦在待加工元件的光斑能量均匀分布，有利于待加工边界区域的物质对激光能量吸收的稳定性，提高加工精度。