一种镀膜腔室中真空规的防护结构
授权
摘要
本实用新型提供一种镀膜腔室中真空规的防护结构，包括：腔室盖板(1)、遮挡罩(2)、连接件、卡箍(5)、真空规(6)，所述腔室盖板(1)朝真空室一侧开有刀口法兰接口，朝大气一侧焊接设置KF接头，所述真空规(6)通过卡箍和KF接头与所述腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)与所述连接件焊接连接，通过所述连接件与腔室盖板(1)连接，所述遮挡罩(2)的侧面上开设有通孔，由此使得真空室与真空规连通。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜腔室中真空规的防护结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020846130.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN213022114U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
吴迪
申请人 ：
四川九天真空科技股份有限公司
申请人地址 ：
四川省南充市西充县多扶工业园区
代理机构 ：
北京华旭智信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李丽
优先权 ：
CN202020846130.8
主分类号 ：
G01L21/00
IPC分类号 ：
G01L21/00 C23C14/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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