一种带有防护结构的低温真空镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种带有防护结构的低温真空镀膜装置，涉及真空镀膜设备技术领域，包括真空镀膜机本体，还包括防护壳体以及减震组件；所述真空镀膜机本体安装在防护壳体间；所述防护壳体两侧相对布置夹持机构，所述夹持机构用于对真空镀膜机本体进行夹持固定；所述减震组件包括均匀布置在防护壳体底壁表面的缓冲套筒，所述缓冲套筒外侧设置缓冲弹簧，将真空镀膜机本体置于防护壳体内的缓冲板表面，两侧所述夹持机构同时朝向真空镀膜机本体的一侧移动，用于对真空镀膜机本体进行初步夹持固定，所述缓冲板推动缓冲套筒收缩，所述缓冲套筒挤压缓冲弹簧收缩以将外部振动作用力转化为弹性力，进而实现缓冲效果。
基本信息
专利标题 ：
一种带有防护结构的低温真空镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122094991.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-01
授权号 ：
CN216274338U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
杨林生
申请人 ：
合肥聚盛真空科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区紫云路北，桃源路西方兴园8幢405室
代理机构 ：
合肥三川专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
潘光亮
优先权 ：
CN202122094991.2
主分类号 ：
C23C14/00
IPC分类号 ：
C23C14/00 F16F15/067
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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