防护门装置及真空镀膜机
授权
摘要
本申请涉及一种防护门装置及真空镀膜机，所述防护门装置，用于真空镀膜机，包括至少一个防护门，该防护门包括：底板，位于两侧的侧板，位于正面的面板和位于上部的顶板；其中，所述面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构；所述一侧的侧板通过转动装置与真空腔体的底部侧边铰接，另一侧的侧板相对于真空腔体活动设计；该技术方案，设计了立体式的防护门结构，在面板和顶板结合部位的至少部分区域的设置为包括至少一个台阶的阶梯结构，操作人员可以通过阶梯结构登上顶板上进行相应操作，无需搬运辅助设备到防护门板前，降低了准备工作的复杂度，减少辅助设备占用空间，提升了真空镀膜机使用便利性。
基本信息
专利标题 ：
防护门装置及真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123421639.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216550685U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
蒋毅刘伟基冀鸣易洪波赵刚李宏盛
申请人 ：
佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南33号力合科技产业中心加速器项目69栋第三层301单元(住所申报)
代理机构 ：
广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余永文
优先权 ：
CN202123421639.1
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/30 E06B5/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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