一种低温真空镀膜设备
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摘要
本实用新型公开一种低温真空镀膜设备，包括真空室和联动板，所述真空室内部贯穿开设有通孔，所述通孔开口端开设有卡槽，所述卡槽内部连接有卡塞，所述卡塞一侧固定连接有盲板，所述真空室内部连接有转架，所述转架内部连接有内管，所述内管内部开设有卡座，所述卡座内部活动连接有插栓，所述插栓一侧固定连接有移动块，所述联动板一侧连接固定连接有插栓，所述联动板一侧连接有弹簧。该低温真空镀膜设备，将原先转架外侧的发热管全部拆除，然后将遗留下的通孔利用盲板进行封堵，且使盲板底部的卡塞与通孔上端的卡槽形成连接，这样盲板和卡塞就能使通孔和真空室形成密封结构，这样在使用时就不会因为发热管过多而导致的温度加热过快。
基本信息
专利标题 ：
一种低温真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021940676.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213172541U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
冯伟吴海平杜晓颖杜国才
申请人 ：
深圳市长兴荣五金制品有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区横岗街道上下路53号厂房1-3层
代理机构 ：
广东众行知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林少波
优先权 ：
CN202021940676.6
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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