一种去除微晶硅薄膜的量产设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种去除微晶硅薄膜的量产设备，包括依序设置的进料端、第一槽、第一清洗单元、第二槽、第二清洗单元、第三槽、第三清洗单元、第四槽、第四清洗单元、第五槽、烘干处理单元、出料端；第一槽、第二槽设置一种输送结构，该输送结构用于运输硅片经过槽体，且硅片的下表面位于槽体内的处理溶液中，而硅片的上表面高于处理溶液液面，有利于太阳能电池生产良率的进一步提高，同时这样的结构要求的处理溶液较少，相应的处理槽的体积也减小，因此能耗也减小。
基本信息
专利标题 ：
一种去除微晶硅薄膜的量产设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020911385.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-26
授权号 ：
CN212848458U
授权日 ：
2021-03-30
发明人 ：
崔艳峰袁声召庄宇峰万义茂杨斌于元元胡玉婷
申请人 ：
东方日升（常州）新能源有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市金坛区直溪镇工业集中区水南路1号
代理机构 ：
杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
余成鹏
优先权 ：
CN202020911385.8
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/67
法律状态
2021-03-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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