非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件

专利权的终止

摘要

一种微电子技术领域的非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件，包括：衬底、引脚、线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料，闭合的矩形磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈，线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺绝缘材料与磁芯隔开，所述的磁芯材料为非晶FeCuNbCrSiB薄膜。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题，使得微电感器件的高频性能大大提高，具有广泛的用途。

基本信息

专利标题：

非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1812012A

申请号：

CN200610023899.4

公开（公告）日：

2006-08-02

申请日：

2006-02-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

周勇丁文

申请人：

上海交通大学

申请人地址：

200240上海市闵行区东川路800号

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟

优先权：

CN200610023899.4

主分类号：

H01F17/04

IPC分类号：

H01F17/04 H01F27/28 H01F10/13 B81B7/00