一种微电子技术领域的基于非晶FeCuNb CrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件，包括：衬底、引脚、线圈、磁芯材料、氧化铝绝缘材料，闭合的矩形磁芯材料上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈，线圈以衬底为基础，由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成，线圈的两端连接引脚，线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过氧化铝绝缘材料与磁芯材料隔开。其中，所述的磁芯材料为非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题，使得微电感器件的高频性能大大提高，具有广泛的用途。