一种用于安装定位单口晶片的托盘结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于安装定位单口晶片的托盘结构，包括托盘本体及与托盘本体相配合用于压住晶片的上盖，所述托盘本体上间隔设置有一组用于放置单口晶片的载片台，所述载片台的外圈上设置有与单口晶片相适配的凹口，所述载片台的外围还设置有环形凹槽，所述环形凹槽内设置有可上下浮动的定位凸台，所述定位凸台上设置有与凹口相适配的凸起。本实用新型能够实现单口晶片的快速安装定位，结构简单，效率高，可广泛应用于单口晶片刻蚀时的安装定位领域。
基本信息
专利标题 ：
一种用于安装定位单口晶片的托盘结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020914648.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-27
授权号 ：
CN212303621U
授权日 ：
2021-01-05
发明人 ：
张磊李昌勋徐良刘建哲朱伟明
申请人 ：
黄山博蓝特半导体科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省黄山市黄山九龙低碳经济园区翠薇北路66号
代理机构 ：
芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹宏筠
优先权 ：
CN202020914648.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-01-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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