多尺寸集合的载片舟

授权

摘要

本实用新型公开了一种多尺寸集合的载片舟，包括左挡板，右挡板，设于左挡板和右挡板下部之间的两条连接杆，设于左挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第一限位棒支撑孔，设于右挡板上的4个呈圆弧形间隔排列的第二限位棒支撑孔；所述第一限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的矩形卡槽，所述第二限位棒支撑孔包括若干个由上至下依次排列的圆弧形卡槽，4个第一限位棒支撑孔的位置分别与4个第二限位棒支撑孔的位置相对应，位于左挡板上部的第一限位棒支撑孔与其对应的第二限位棒支撑孔之间设有第一限位棒。本实用新型具有可在不更换承载舟的任何部件的情况下，插放不同尺寸的晶圆的特点。

基本信息

专利标题：

多尺寸集合的载片舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020926021.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-27

授权号：

CN212113656U

授权日：

2020-12-08

发明人：

刘东

申请人：

杭州西风半导体有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市余杭区余杭经济技术开发区振兴东路22号

代理机构：

杭州杭诚专利事务所有限公司

代理人：

阎忠华

优先权：

CN202020926021.7

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673