一种基板式碳纳米管制备设备

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摘要

本实用新型公开了一种基板式碳纳米管制备设备，本实用新型所述基板式碳纳米管制备设备在腔体中，利用石英匀气管堵制造一个恒温热场，将倾斜式沉积基板置于加热炉温区中间，加热炉升温的同时通入大量惰性气体，利用进气预热炉将惰性气体加热与三温区加热炉同步，防止大量惰性气体洗气时低温容易破坏试验热场，加热炉温度达到实验温度时，利用通气导管通入碳源气体，石英匀气管堵底部均匀输出碳源气体，通过高温度下使含碳化合物裂解为碳原子，碳原子在过渡金属‑催化剂的作用下，均匀高效地附着在催化剂微粒表面上形成碳纳米管，且通过滑动设置三温区加热炉，能够使高纯度石英管中的反应区域快速的进入或者脱离加热区域，提升沉积质量。

基本信息

专利标题：

一种基板式碳纳米管制备设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021070696.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-11

授权号：

CN212609576U

授权日：

2021-02-26

发明人：

孔令杰李晓丽

申请人：

合肥百思新材料研究院有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市巢湖经济开发区和平大道与秀湖路交叉口西北角

代理机构：

合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

韩立峰

优先权：

CN202021070696.2

主分类号：

C01B32/16

IPC分类号：

C01B32/16