一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵，其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接，真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为：步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中；步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果：制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单，薄膜成分和结构调控方便灵活，制备得到的薄膜表面质量高，涂层结合力好，具有光催化性能和抗菌性。
基本信息
专利标题 ：
一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021076000.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-12
授权号 ：
CN212263279U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
文峰左小单邓乔元杨涛
申请人 ：
海南大学
申请人地址 ：
海南省海口市人民大道58号
代理机构 ：
长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
鞠传龙
优先权 ：
CN202021076000.7
主分类号 ：
B01J31/38
IPC分类号 ：
B01J31/38 B01J27/24 B01J37/08 A01N59/00 A01P3/00 A01P1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J31/00
包含氢化物，配位配合物或有机化合物的催化剂
B01J31/26
还包括未列入B01J31/02至B01J31/24组的无机金属化合物
B01J31/38
钛、锆或铪的
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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