一种多级行星旋转镀膜机构
授权
摘要
本实用新型提供一种多级行星旋转镀膜机构，包括第一级固定齿轮、行星转盘、第一级行星齿轮单元、第一级行星旋转传动装置、第一级行星旋转工作盘、第二级固定齿轮、第二级行星齿轮单元和第二级行星旋转工作盘，所述第二级固定齿轮与所述行星转盘固定连接，多个所述第二级行星齿轮单元固定于所述第一级行星旋转工作盘上且分布为均可与所述第二级固定齿轮啮合，所述第二级行星齿轮单元与所述第二级行星旋转工作盘可一体转动地连接。通过本实用新型，增加了被镀膜工件表面各点的运动轨迹维度，使得被镀膜工件表面各点在真空室内的运动所覆盖范围更广，提高了被镀膜工件表面的镀膜均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种多级行星旋转镀膜机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021215721.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-28
授权号 ：
CN212894954U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
闫海涛
申请人 ：
布勒莱宝光学设备（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
代理机构 ：
北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨华
优先权 ：
CN202021215721.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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