旋转镀膜辅助装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要

本实用新型涉及镀膜装置技术领域,具体地说是一种旋转镀膜辅助装置,包括平衡联接块(1)、绝缘地脚螺钉(2)、电源(3)、延时控制装置(4)、支撑杆(5)、管状基质(6)、传动固定杆(7)、定位螺母(8)和驱动电机(9)。本实用新型同现有技术相比,装置结构简单,安装和拆卸方便,尺寸可灵活调节,易于实施操作。

基本信息
专利标题 :
旋转镀膜辅助装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620162355.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-12-29
授权号 :
CN200992573Y
授权日 :
2007-12-19
发明人 :
刘延辉周细应何亮
申请人 :
上海工程技术大学
申请人地址 :
201620上海市松江区龙腾路333号材料工程学院
代理机构 :
上海三方专利事务所
代理人 :
吴干权
优先权 :
CN200620162355.1
主分类号 :
C23C14/35
IPC分类号 :
C23C14/35  C23C14/56  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的,例如磁控溅射
法律状态
2009-01-21 :
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 20081231
2007-12-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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