一种镀膜装置的旋转盘
授权
摘要
本实用新型公开了一种镀膜装置的旋转盘，包括安装夹具，所述安装夹具的侧壁上均匀设置有多个固定口，所述安装夹具的上端设置有螺杆组件，所述固定口上安装有安装框，所述螺杆组件贯穿安装夹具抵在固定口内的安装框表面将其固定在安装夹具上，所述安装夹具的外侧壁上固定有支撑架，所述安装框卡在支撑架内，所述定位夹具安装在安装框上，所述安装框的侧边固定有抵触组件，所述抵触组件卡在定位夹具的上端面；本实用新型安装框可直接通过固定口从安装夹具内进行拆卸，通过插拔的方式进行安装，步骤简单，支撑架对安装框进行导向和支撑，有效地防止安装框在安装时发生偏移，栅栏板在转动时对各处蒸发离子进行轻微扰动，使得基片的镀膜层更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜装置的旋转盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021813583.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-27
授权号 ：
CN213113485U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
张少波汪敏军许红灯刘维良盛耀武赵勇进赵永向查成树张敏豪
申请人 ：
凯盛信息显示材料（池州）有限公司
申请人地址 ：
安徽省池州市经济技术开发区
代理机构 ：
昆明合众智信知识产权事务所
代理人 ：
叶春娜
优先权 ：
CN202021813583.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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