一种镀膜设备真空密封旋转机构
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摘要
本实用新型公开了一种镀膜设备真空密封旋转机构，具有：马达；箱体底板，马达与箱体底板连接；磁流体，转动安装在箱体底板上；旋转架，其底部与磁流体的顶部连接；旋转架上设有基片架；过渡法兰，其顶部与磁流体的底部连接，过渡法兰的底部与马达的转动部连接，将磁流体电机一体结构拆分成磁流体+马达两个部分，成本低，并且有利于后期维护。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜设备真空密封旋转机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922284110.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-18
授权号 ：
CN211256082U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
邵家满王伟王寅盛长鹰
申请人 ：
芜湖长信科技股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区汽经二路六号
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
曹政
优先权 ：
CN201922284110.6
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 F16J15/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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