一种电磁屏蔽膜制备装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种电磁屏蔽膜制备装置，至少包括真空腔，所述真空腔的内部设置有分区隔板且分区隔板上开设有通孔，所述分区隔板的两侧分别为卷绕区以及镀膜区，所述卷绕区的内部设置有放卷辊以及收卷辊，所述镀膜区的内部设置有第一冷却辊以及第二冷却辊，所述放卷辊与第二冷却辊之间以及收卷辊与第一冷却辊之间皆设置有多个导向辊，所述第一冷却辊以及第二冷却辊的外圆周皆设置有至少两个磁控溅射装置。本实用新型通过将放卷辊、收卷辊、第一冷却辊、第二冷却辊以及磁控溅射装置放置于同一真空腔中，使得本实用新型结构更加紧凑，进而减小了本实用新型的体积，从而减少了本实用新型的占地空间，降低了本实用新型的成本，值得大力推广使用。

基本信息

专利标题：

一种电磁屏蔽膜制备装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021287341.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-05

授权号：

CN212955322U

授权日：

2021-04-13

发明人：

曾庆熙魏明强杨延远王文华

申请人：

山东劲拓新材料科技有限公司

申请人地址：

山东省菏泽市定陶区滨河办事处梁王路与麟迹路交叉口往西100米路北

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021287341.9

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/56