一种硅片清洗机用抛动装置

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摘要

一种硅片清洗机用抛动装置，包括底座、电机支架、电机、减速器、偏心轮、动力横杆、上支架、背板、抛动孔、滑杆、限位机构、开关支架、行程开关、抛动臂、垫块，底座上固定安装有电机支架，电机支架上固定安装有电机，电机的输出轴与减速器相连，减速器的输出轴上安装有偏心轮，底座上方设有上支架，上支架通过背板与底座相连接，底座与上支架之间安装有滑杆，滑杆上设有限位机构，动力横杆下侧的背板上固定安装有开关支架，开关支架上设有行程开关，行程开关与PLC控制系统电连接。本实用新型优化了整个硅片清洗机的运行过程，提升了单晶硅片在清洗工序中的安全系数,也更利于机械手提取和放置硅片工装的联动控制，提升了系统的工作效率。

基本信息

专利标题：

一种硅片清洗机用抛动装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021354609.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-11

授权号：

CN212856920U

授权日：

2021-04-02

发明人：

薛佳勇王海军薛佳伟

申请人：

天津众晶半导体材料有限公司

申请人地址：

天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021354609.6

主分类号：

B08B3/10

IPC分类号：

B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67