一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器

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摘要

本实用新型揭示了一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器，包括底座、外壳以及MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片固定在所述底座上，所述外壳同样设置在所述底座上，且所述外壳罩住所述MEMS热线式气流传感器芯片，所述MEMS热线式气流传感器芯片通过金线与所述底座的引脚邦定，所述外壳上设置有两个对流孔便于气流流过所述MEMS热线式气流传感器芯片的表面。本实用新型由于采用了MEMS热线式气体流量传感器，具备体积小、能耗低、响应快等特点，利用对流孔通道与芯片表面相切设计，可以减小回风干扰以及减小芯片对气流通道阻碍的影响，从而在保证高性能的同时实现了小尺寸封装。

基本信息

专利标题：

一种基于MEMS热线式技术的气体流量传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021380139.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-14

授权号：

CN212513174U

授权日：

2021-02-09

发明人：

胡华才李良

申请人：

河源市星通时频电子有限公司

申请人地址：

广东省河源市高新技术开发区科七路南面兴业大道东边中艺实业工业园D栋三、四楼

代理机构：

深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

何兵

优先权：

CN202021380139.0

主分类号：

G01F1/688

IPC分类号：

G01F1/688