本实用新型公开了一种具有预抽空功能的多工位氦质谱检漏系统，包括预抽真空组件、氦质谱检漏仪、清扫气源与多个检测工位，多个所述检测工位均分别与所述预抽真空组件、所述氦质谱检漏仪、所述清扫气源连接，多个待检测件分别与各所述检测工位连接，各所述检测工位并行运行不同检测步骤。本实用新型通过设置的多个检测工位，多工位并行，一个工位检测，其余工位可同时进行上料、预抽、破空、下料等其余操作，充分提高了氦质谱检漏仪的利用率，使生产效率得到大大提升；并且通过对检测工位上的工装结构进行更换，可实现批检加分检的组合模式；还通过单独设置的预抽真空泵，比氦质谱检漏仪本身的抽空能力大、抽速快，提高了工作效率。