一种线源坩埚余料检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种线源坩埚余料检测装置，坩埚上盖盖设于坩埚本体上，且坩埚上盖上设置有多个喷嘴；还包括：检测装置，检测装置用于检测线源坩埚内剩余的蒸镀材料；检测装置为超声波监测仪，超声波监测仪设置于坩埚上盖上方，且超声波监测仪包括：超声波发射探头、超声波接收装置，超声波发射探头、超声波接收装置集成在超声波监测仪内，且超声波发射探头用于发出超声波信号，超声波接收装置用于接收超声波信号；或者检测装置为磁场发射装置、磁场传感器，磁场发射装置设置于坩埚上盖上方，磁场传感器设置于坩埚本体下方；磁场发射装置用于发射磁场，磁场传感器用于接收磁场。提高了蒸镀产品的良率以及生产效率，减少废料的产生。
基本信息
专利标题 ：
一种线源坩埚余料检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021504128.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN212864942U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
黄逸臻孙玉俊林仕龙
申请人 ：
福建华佳彩有限公司
申请人地址 ：
福建省莆田市涵江区涵中西路1号
代理机构 ：
福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
林祥翔
优先权 ：
CN202021504128.9
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
